根据长江存储官网的介绍，2016年，紫光集团与国家集成电路产业投资基金、湖北科投等合资成立了长江存储，注册资本额为人民币386亿元。当年，长江存储启动了位于武汉的国家存储器基地的建设。2017年9月，项目一期的一号生产及动力厂房提前封顶，2018年4月11日，首批价值400万美元的芯片生产机正式进场安装。这标志着国家存储器基地从厂房建设阶段进入量产准备阶段，中国首批拥有完全自主知识产权的32层三维NAND闪存芯片将于年内量产。

　　光刻机为何物？

　　回应质疑

　　世界最新最先进的两代高端光刻机领域，即浸入式（Immersion）和极紫外线式（EUV）光刻机，全部由阿斯麦掌握核心技术。报道称，小于5纳米的芯片晶圆，目前只能用EUV光刻机生产。三星电子和台积电目前正竞争生产7纳米工艺技术芯片，这两家都订购了阿斯麦公司的EUV光刻机。目前，苹果iPhone X和iPhone 8系列的核心处理器芯片，采用的是台积电10纳米工艺技术，而今年即将推出的新款iPhone将使用7纳米工艺技术。

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阿斯麦公司生产的光刻机。（阿斯麦官网）

　　2017年10月，阿斯麦中国区总裁金泳璇在接受台湾《电子时报》的采访时也表示，阿斯麦对大陆芯片厂与国际客户一视同仁，只要客户下单，EUV要进口到中国完全没有任何问题。在交期方面，所有客户也都完全一致，从下单到正式交货，均为21个月。金泳璇当时就曾透露，目前已有大陆芯片厂巨头与阿斯麦展开7纳米工艺制程的EUV订单洽谈，2019年大陆首台EUV可望落地。而这对中国芯片厂来说无疑是一个好消息。

　　4月27日，长江存储公司内展示的国家存储器基地建设现场。（新华社）

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　　据悉，19日运抵的光刻机只是长江存储的首台光刻机，陆续还会有多台运抵。报道称，该设备在相关的海关、商检及边防口岸的相关手续办理完成后，即可运至长江存储的工厂，可用于14-20纳米工艺。这也从侧面透露了长江存储3D NAND闪存芯片的工艺制程。

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　　香港《明报》5月22日报道称，光刻机（又称曝光机）是生产大规模集成电路的核心设备，其作用是扫描曝光芯片晶圆，刻蚀集成电路。制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机的价格昂贵，通常在3000万至5亿美元不等。目前，虽然尼康、佳能等对手都在勉力竞争，但是自飞利浦独立的阿斯麦公司掌握了90%以上的高端光刻机市场份额。精度愈高的光刻机，能生产出纳米尺寸愈小、功能更强大的芯片。

中芯国际集成电路制造（北京）有限公司的工作人员在车间内忙碌。（新华社）

　　此前曾有一种说法，认为最高端的光刻机技术受到《瓦森纳协定》影响，被禁止向中国大陆出售。然而，阿斯麦公司发言人则对《日经亚洲评论》表示，该企业对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁。而且，向中国出售EUV光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。

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(责任编辑：武汉三度艺术机构)